1、對(duì)于形貌成像:主要信號(hào)是二次電子,背散射電子也有使用。吸收電流成像,是比較特殊的應(yīng)用,往往用于專門(mén)材料檢測(cè)。
2、對(duì)于成分分布成像:背散射電子,陰極熒光,元素特征X射線等。