1、按工作方式分
(1)直接式質(zhì)量流量計
直接式即直接輸出質(zhì)量流量,直接式質(zhì)量流量計有多種類型,如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。這種儀表適于測量小流量氣體,缺點是惰性大,測量值與氣體的定壓比熱有關(guān),測量元件與介質(zhì)接觸,易被沾污和腐蝕。
(2)間接式質(zhì)量流量計
間接式質(zhì)量流量計也叫推導(dǎo)式質(zhì)量流量計,一般是應(yīng)用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進行乘法運算以得出質(zhì)量流量。
間接式質(zhì)量流量計有3種主要型式:速度式流量計與密度計的組合,節(jié)流式(或靶式)流量計與容積式流量計的組合,節(jié)流式(或靶式)流量計與密度計組合。
還有一種根據(jù)流體的工作壓力、溫度將容積流量計的測量值換算成標準狀態(tài)下的容積流量。但是,當介質(zhì)的種類或成分改變時,它不能給出準確的質(zhì)量流量。
2、按工作原理分
(1)熱式質(zhì)量流量計
熱式質(zhì)量流量計的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱,熱能隨流體一起流動,通過測量因流體流動而造成的熱量(溫度)變化來反映出流體的質(zhì)量流量。
當流體成分確定時,流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知,若保持加熱功率恒定,則測出溫差便可求出質(zhì)量流量;若采用恒定溫差法,即保持兩點溫差不變,則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現(xiàn),所以實際應(yīng)用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。
(2)差壓式質(zhì)量流量計
差壓式質(zhì)量流量計是以馬格努斯效應(yīng)為基礎(chǔ)的流量計,實際應(yīng)用中利用孔板和定量泵組合實現(xiàn)質(zhì)量流量測量。常見的有雙孔板和四孔板與定量泵組合兩種結(jié)構(gòu)。
雙孔板結(jié)構(gòu)形式,即在主管道上安裝結(jié)構(gòu)和尺寸完全相同的兩個孔板A和B,在分流管道上裝置兩個流向相反、流量固定為的定量泵,差壓計連接在孔板A入口和孔板B出口處。
(3)科里奧利質(zhì)量流量計
科里奧利質(zhì)量流量計(簡稱科氏力流量計)是一種利用流體在振動管中流動而產(chǎn)生與質(zhì)量流量成正比的科里奧利力的原理來直接測量質(zhì)量流量的儀表。
科氏力流量計結(jié)構(gòu)有多種形式,一般由振動管與轉(zhuǎn)換器組成。振動管(測量管道)是敏感器件,有U形、Ω形、環(huán)形、直管形及螺旋形等幾種形狀,也有用雙管等方式,但基本原理相同。
(4)微彈式質(zhì)量流量計
微彈式質(zhì)量流量計利用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的微型傳感器來測量流體的質(zhì)量流量。這種流量計通常包含一個加熱元件和兩個溫度傳感器,流體通過傳感器時會引起溫度分布的變化,從而允許測量質(zhì)量流量。微彈式流量計尺寸小,響應(yīng)快,適合于小流量的精密控制,但可能不適用于高流量或惡劣環(huán)境。